جيفينج سيراميك
المزايا الأساسية ل المكونات الهيكلية الخزفية الزركونيا السوداء لأشباه الموصلات
الموصلية التي يمكن السيطرة عليها
تتيح عملية المنشطات بالطور الكربوني/المعدني مقاومة سطحية قابلة للتعديل من 10³-10¹⁰Ω, منع امتصاص الجسيمات الكهروستاتيكية.
دقة فائقة
التسامح مع التصنيع باستخدام الحاسب الآلي ± 0.002 مم, خشونة السطح Ra<0.05μm, مناسبة لعمليات النانومتر.
مقاومة تآكل البلازما
معدل التآكل <0.1ميكرومتر/100 ساعة في بيئة بلازما الفلور/الكلور; تم زيادة عمر الخدمة بمقدار 5×+.
نظافة فائقة
لا يوجد ترشيح أيون معدني; يجتاز اختبار تساقط الجسيمات SEMI F47 (≥5 قطعة/ورقة عند 0.3 ميكرومتر).
تشكيل الهيكل المعقد
يدعم صب الحقن / 3الطباعة د; رقيقة الجدار (≥0.2 مم), ذات شكل خاص, والهياكل المسامية المتاحة.
تطبيقات المكونات الهيكلية الخزفية الزركونيا السوداء لأشباه الموصلات
الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات
- النقش: بطانات الغرفة, فوهات الغاز, خراطيش الويفر
- الترسيب (PVD/الأمراض القلبية الوعائية): حلقات الدرع, قواعد, صواني سخان
- الطباعة الحجرية: أصحاب القناع, أجزاء المصففات
عرض & التعبئة والتغليف
- تبخر OLED: الدروع الخفيفة, القابضون الروبوت
- محطات التحقيق: ركائز السيراميك, مآخذ الاختبار
- التعبئة والتغليف المتقدمة: حلقات العزل TSV, بين قوسين RDL
الكهروضوئية & إلكترونيات
- طلاء الكهروضوئية: بكرات موصلة, القضبان التوجيهية
- أجهزة عالية الطاقة: ركائز IGBT, نوافذ الميكروويف RF
لماذا تختار مكوناتنا الهيكلية المصنوعة من الزركونيا السوداء?
تكنولوجيا المواد المبتكرة
مادة متقدمة: تلبيد رد الفعل + خاصرة, 99.5% كثافة, مرحلة موصلة موحدة. طلاء دي إل سي: معامل الاحتكاك 0.1, مقاومة التآكل ×8.
مراقبة جودة العملية الكاملة
تخضع جميع العناصر لاختبار تسرب الهيليوم (معدل التسرب <5×10⁻¹⁰ باسكال·م³/ث) & فحص الأشعة السينية (≥10μm). يتم توفير تقارير اختبار تآكل البلازما وSEM/EDS.
نظام الاستجابة السريعة
15-مهلة يومية للأجزاء القياسية, 30 أيام للأجزاء المخصصة غير القياسية; أوامر الاندفاع المتاحة عند التقييم الفني.
الدعم الفني العالمي
نحن نقدم تحسين محاكاة FEA, خدمات تحليل الأعطال وتعديل تكييف المعدات.
