عن خريطة الموقع |

ظرف فراغ سيراميك مسامي عالي الدقة - جيفينج سيراميك

المكونات الهيكلية الخزفية/

ظرف سيراميك من كربيد السيليكون المسامي

كربيد السيليكون المسامي (كربيد كربيد) تشاك السيراميك مصنوع من مسحوق عالي النقاء, عن طريق الترابط رد الفعل أو صب هلام.
لقد تم التحكم في المسامية نوعًا ما ولكنها لا تزال توفر التوصيل الحراري القوي والمرونة الميكانيكية, كأنها متوازنة عن قصد.
هذا تشاك فراغ السيراميك المسامية يفي بمعايير SEMI F47, لأدوات أشباه الموصلات.
رائعة للتعامل مع الرقائق, تصنيع الخلايا الكهروضوئية, والمعالجة بالليزر, فهو يساعد في الحفاظ على نتائج مستقرة دون أي تلوث, حتى عندما ترتفع درجة الحرارة وتكون متطلبات الدقة صارمة.

  • تفاصيل المنتج
  • المواصفات الفنية

المزايا الأساسية ل تشاك فراغ السيراميك المسامية

مقاومة درجات الحرارة القصوى

درجة حرارة العمل على المدى الطويل 1600 درجة مئوية; الصدمة الحرارية ΔT ≥ 500 درجة مئوية.

امتصاص دقيق للمسام الصغيرة

المسامية 30-70%, حجم المسام 1-50 ميكرومتر; امتزاز الفراغ ≥ 0.08 MPa للرقائق الرقيقة جدًا.

تآكل & مقاومة التآكل

يقاوم درجة الحموضة 1-14 & تآكل البلازما; HV10 2200-2800; عمر الخدمة 3 × من خراطيش الجرافيت.

التسطيح للغاية

≥ 0.005 ملم بعد الطحن الدقيق.

التطبيقات الرئيسية لظرف فراغ السيراميك المسامي

1.أشباه الموصلات & إلكترونيات

  • ربط الرقاقة / الترابط المؤقت: التسطيح .0050.005 مم لترقق الويفر مقاس 12 بوصة.
  • الإدارة الحرارية للطباعة الحجرية: تقلبات درجة الحرارة ± ± 0.1 درجة مئوية.

2.الضوئية & الطاقة الجديدة

  • فرن تلبيد الخلايا الشمسية PERC/TOPCon: 1600درجة مئوية, معدل الكسر .010.01%.
  • علبة كربيد الفوقي: شوائب معدنية ≥1 جزء في المليون لـ MOCVD/MBE.

3.الليزر & الآلات الدقيقة

  • ظرف القطع بالليزر عالي الطاقة: يقاوم الاستئصال بالليزر ≥1 كيلو واط/سم².
  • 3الركيزة الطباعة D: التهوية المسامية تقلل من التصاق المسحوق.

4. المعدات الصناعية ذات درجة الحرارة العالية

  • محدد فرن التلبد: مقاومة الزحف, الحمل ≥50 كجم/م² عند 1600 درجة مئوية.
  • تركيبات اللحام بالفراغ: يقاوم لحام Ag-Cu-Ti; قابلة لإعادة الاستخدام ≥1000 دورات.

خدمات تخصيص السيراميك JiFeng

هيكل المسام

زي مُوحد / التدرج / قنوات اتجاهية للتحكم في الفراغ/الغاز.

المعالجة السطحية

طلاء CVD SiC, طلاء مضاد للأكسدة SiO₂/Al₂O₃.

أبعاد

القطر φ100 – φ600 مم, سمك 5-50 ملم; مستطيلة / شكل خاص.

ميزة التكلفة

40-60% أقل من العلامات التجارية المستوردة.

المعلمةتفاصيل
نقاء المادةكربيد السيليكون ≥99.5%, حر سي .50.5%
المسامية30%-70% (المسام التدرج للتخصيص)
متوسط ​​حجم المسام1-50 ميكرومتر (الحفر بالليزر / عامل تشكيل المسام)
الموصلية الحرارية120 ث / م · ك (عند 25 درجة مئوية)
قوة الانحناء≥150 ميجا باسكال (هيكل مسامي)
التسطيح.000.005 ملم (أرض الدقة)
الشهاداتشبه F47 (أشباه الموصلات)

السابق:

التالي: