JiFeng-Keramik
Präzision ist in der Halbleiterfertigung nicht verhandelbar. daher, Sie benötigen zuverlässige Ausrüstung. Speziell, Jifeng Ceramics stellt fortschrittliche Produkte her Endeffektor aus Aluminiumoxidkeramik Lösungen. Diese werden auch als Roboterarme oder Waffelgabeln bezeichnet. Darüber hinaus, Sie sind darauf ausgelegt, die strengen Anforderungen der Front-End-Wafer-Herstellung zu erfüllen.
Der Endeffektor aus Aluminiumoxidkeramik fungiert als kritische Schnittstelle. Es sitzt zwischen dem Roboter und dem Siliziumwafer. Folglich, es bietet außergewöhnliche Stabilität. Außerdem, es bietet eine hohe Thermoschockbeständigkeit. Im Gegensatz zu Aluminium oder PEEK, unsere hohe Reinheit Aluminiumoxidkeramik (99.5% Al2O3) Verunreinigungen beseitigen. Infolge, Sie gewährleisten die Integrität von 300-mm-Wafern in Vakuumumgebungen.
Abschließend, Jifeng Ceramics bietet sowohl Standard- als auch kundenspezifische Lösungen an. Benötigen Sie einen Prototyp?? Dann, Kontaktieren Sie noch heute unser Engineering-Team.
Warum Top-Hersteller auf Arme aus Aluminiumoxidkeramik umsteigen
Der Übergang von Metall zu Hochleistungskeramik bei der Waferhandhabung wird durch die Physik der Halbleiterverarbeitung vorangetrieben.
Unübertroffenes Verhältnis von Steifigkeit zu Gewicht: Mit einem Elastizitätsmodul von ca 370 GPa , Aluminiumoxid ist fast 5 mal steifer als Aluminium. Diese hohe Steifigkeit verhindert das “sinken” oder Durchbiegung des Armendes bei Belastung mit einem schweren 300-mm-Wafer, Gewährleistung einer präzisen Platzierung in Kassetten und Prozesskammern ohne Vibrationen oder Positionsfehler.
Extrem temperaturbeständig: Unsere Aluminiumoxidarme behalten ihre mechanische Integrität bei Temperaturen von bis zu 1600°C. Das macht sie unverzichtbar für Schnelle thermische Verarbeitung (RTP) Und Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Öfen, wo sich Metallarme verziehen würden, Ermüdung, oder metallische Verunreinigungen einbringen.
Plasma & Chemische Beständigkeit: In Trockenätzkammern, Prozessgase wie Fluor- und Chlorplasmen greifen Metalle aggressiv an. Hochreines Aluminiumoxid ist chemisch inert, Dadurch wird die Lebensdauer des Endeffektors verlängert und die Partikelerzeugung deutlich reduziert.
Elektrische Isolierung & Spannungsfestigkeit: Für Prozesse mit HF-Plasma oder Hochspannungen, Aluminiumoxid fungiert als hervorragender elektrischer Isolator (Volumenwiderstand > 10¹⁴ Ω·cm), Verhindert Lichtbögen und schützt empfindliche Wafer-Schaltkreise.
Erweiterte technische Merkmale der Jifeng-Keramikarme
Wir nutzen modernste CNC-Bearbeitungs- und Sintertechnologien, um Funktionen bereitzustellen, die die Prozessausbeute steigern.
1. Integrierte Vakuumkanäle (Keine Klebstoffe) Einsatz unserer firmeneigenen Klebe- und Bearbeitungstechnologie, Wir erzeugen interne Vakuumkanäle innerhalb des Keramikkörpers, ohne organische Klebstoffe oder Leime zu verwenden, die im Vakuum ausgasen könnten. Diese monolithische Struktur gewährleistet eine robuste Vakuumdichtung für sicheren Halt der Wafer.
2. Porenfreie Kontaktflächen Die Kontaktpads unserer Endeffektoren sind diamantpoliert auf eine Oberflächenrauheit von Ra < 0.2µm. Diese spiegelähnliche Oberfläche minimiert die Reibung und verhindert die Bildung von Partikeln auf der Rückseite des Wafers, ein entscheidender Faktor für die Aufrechterhaltung der Tiefenschärfe der Lithographie.
3. ESD-sichere Materialoptionen Statische Elektrizität kann empfindliche Gerätestrukturen zerstören. Wir bieten ESD-sicheres Aluminiumoxid Varianten (dissipative Keramik) mit einem abgestimmten Widerstandsbereich (typischerweise 10⁵ bis 10⁹ Ω·cm) um statische Ladungen bei Kontakt sicher vom Wafer abzuleiten, verhindert elektrostatische Entladung (ESD) Ereignisse.
4. Leicht & Optimierte Geometrien Durch Finite-Elemente-Analyse (FEA), Wir optimieren die Rippenstruktur und höhlen nichtstrukturelle Bereiche aus, um die Masse des Arms zu reduzieren. Dadurch wird die Trägheitsbelastung der Antriebsmotoren des Roboters reduziert, Dies ermöglicht eine schnellere Beschleunigung/Verzögerung und einen höheren Durchsatz.
Technische Spezifikationen & Anpassung
Benötigen Sie bestimmte Abmessungen?? Dann, Schauen Sie sich unten unsere Möglichkeiten an.
Material: 99.5% – 99.9% Hochreines Aluminiumoxid.
Toleranz: Bis zu ±0,005 mm.
Anpassung: Außerdem, Wir akzeptieren kundenspezifische Zeichnungen.
