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Aluminiumnitrid-Keramikmaterialien

Aluminiumnitrid ( AlN) ist eine organische Verbindung mit einem hexagonalen Wurtzit-Kristall. Die Gitterkonstanten der Verbindung sind a = 0.3110 Nm sowie c = 0.4978 Num. Die Aluminiumatome sind in einer hexagonal-geschlossenen Packungsstruktur angeordnet, wobei Stickstoffatome den Großteil der interstitiellen Tetraederplätze einnehmen. Verzerrte Tetraeder [AlN4] entstehen durch die Wechselwirkung von Aluminiumatomen und Stickstoffatomen. Die Länge der Al-N-Bindung entlang der C-Achse von 0.1917 nm. Die Länge der Al-N-Bindungen in den drei anderen Richtungen beträgt 0.1885 nm. Reine Aluminiumnitridkeramik ist farblos und durchscheinend, Aufgrund der Dotierung mit Verunreinigungen sind sie jedoch in unterschiedlichen Farbtönen gefärbt, typischerweise grau, cremefarben oder hellgelb.

Aluminiumnitrid-Keramikmaterial

Kristalline Formen von Aluminiumnitrid

AlN-Keramik weist hervorragende thermische Eigenschaften auf: seine theoretische Wärmeleitfähigkeit beträgt 320 W/(m·K), in der Nähe von ungiftigem Beryllia, mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten ähnlich dem von Silizium. Bei Raumtemperatur ist es ein guter Isolator, mit spezifischem Widerstand 10⁻¹⁶ Ω·m, Durchbruchspannung 15 kV/mm, geringer dielektrischer Verlust. Mechanisch, es hat 12 GPa-Härte, 300 MPa Biegefestigkeit, und stabile Festigkeit bei hohen Temperaturen. Chemisch, Es widersteht hohen Temperaturen und Korrosion, oxidiert bei 700~800℃, und muss trocken gelagert werden, um eine Reaktion mit Wasserdampf zu vermeiden.

  • Gitterkonstante: a=0,3110nm, c=0,4978 nm
    Raumgruppe: P6₃mc
  • Al-Atome sind in einer hexagonal dichten Packung angeordnet, und N-Atome besetzen halbtetraedrische Zwischengitterplätze. Jedes Al-Atom bildet sich verzerrt [AlN₄] tetraedrische Koordination mit vier N-Atomen. Die Al-N-Bindungslänge entlang der c-Achse beträgt 0.1917 nm, Und 0.1885 nm in die anderen drei Richtungen.
  • Aluminiumnitrid zeichnet sich vor allem durch eine kovalente Bindung aus, mit teilweise ionischen Bindungseigenschaften, Zu den Nitriden der Gruppe III-V gehörend.

Diese Kristallstruktur für Aluminiumnitrid hat einige wirklich gute Eigenschaften , wie eine hohe Wärmeleitfähigkeit, gute elektrische Isolierung, und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten . Daher wird es häufig in elektronischen Verpackungen verwendet, für Wärmeableitungssubstrate , und auch in verwandten Verwendungen.

Aluminiumnitrid-Keramikmaterial
Kristallzellstruktur von Aluminiumnitrid (AlN)

Figur 1: Kristallstruktur von Aluminiumnitrid (AlN)

Aluminiumnitrid-Keramikmaterial

Figur 2: Mikrostruktur des Sinterhilfe-Y₂O₃-Pulvers.

(Spitze) Sekundäre sphärische Struktur; (Unten) Mikrostruktur von Primärpartikeln.

Figur 2 zeigt die Mikrostruktur von Y₂O₃-Pulver, die eine quasi-kugelförmige Struktur aus zahlreichen Primärpartikeln mit großen Poren dazwischen aufweist, was zu einer geringen Dichte führt. Nach Beobachtung mit hoher Vergrößerung, Auf der Oberfläche der Primärpartikel sind viele beim Sintern entstandene Wachstumsschritte sichtbar.

Aluminiumnitrid-Keramikmaterial
Aluminiumnitrid-Keramikmaterial

Figur 3: Mikrostruktur gesinterter AlN-Keramik (Weiße Partikel bezeichnen das Sinterhilfsmittel Y₂O₃)

Figur 3 zeigt AlN-Keramik, die unter Zusatz von Y₂O₃ als Sinterhilfsmittel gesintert wurde. Die Körner erscheinen dicht gepackt, und die Schüttdichte ist hoch. Mit anderen Worten, die Y₂O₃-Partikel sind gut zwischen die AlN-Körner gefüllt, Dieser Aufbau trägt dazu bei, die Dichte der Keramik zu erhöhen und ihre Wärmeleitfähigkeit noch weiter zu verbessern.

Aluminiumnitrid-Keramikmaterial
Aluminiumnitrid-Keramikmaterial

Vorteile von Aluminiumnitrid(ALN) Keramik

Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit

AlN-Keramik weist eine extrem hohe Wärmeleitfähigkeit auf, um 140 Zu 220 W/m·K, Ehrlich gesagt viel besser als Aluminiumoxidkeramik. Dies beschleunigt die Wärmeübertragung für elektronische Hochleistungsgeräte und hilft beim Wärmemanagement, und das kann die Gesamtzuverlässigkeit des Systems wirklich verbessern, plus längere Lebensdauer.

Hervorragende elektrische Isolierung

Trotz der starken Wärmeleitung, AlN behält weiterhin eine gute elektrische Isolierung und Durchschlagsfestigkeit. Deshalb eignet es sich gut für elektronische Substrate und auch für isolierte Wärmeableitungsteile. Es ist wie, Die Wärme bewegt sich schnell, aber der Strom bleibt unter Kontrolle.

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Der Wärmeausdehnungskoeffizient liegt nahe an Siliziumhalbleitern, Dadurch wird die thermische Belastung durch Temperaturschwankungen reduziert. In der Praxis, Dies unterstützt zuverlässigere Verpackungsgeräte, weniger Mikrostressprobleme, und bessere Haltbarkeit im Laufe der Zeit.

Hohe Temperaturbeständigkeit

AlN-Keramik behält bei hohen Temperaturen stabile mechanische und thermische Eigenschaften bei und verfügt über eine ausgezeichnete Thermoschockbeständigkeit unter rauen Arbeitsbedingungen.

Große Korrosions- und Plasmabeständigkeit

Es bietet eine starke Beständigkeit gegen geschmolzene Metalle, korrosive Gase und Plasmaumgebungen, Perfekt anwendbar auf Halbleiter- und Vakuumprozessanlagen.

Materialeigenschaften von Aluminiumnitrid

Als neue Generation von Hochleistungskeramik, Aluminiumnitrid (AlN) ist bekannt für seine ultrahohe Wärmeleitfähigkeit (5-7 mal so viel wie Aluminiumoxid) und Wärmeausdehnungskoeffizient, der stark mit Silizium übereinstimmt (Und). Es ist ein ideales Wärmeableitungs- und Verpackungsmaterial für elektronische Hochfrequenz- und Hochleistungskomponenten.

Je nach unterschiedlicher Wärmeleitfähigkeit (W/m·K) und Anwendungsfokus, AlN-Materialien werden hauptsächlich in die folgenden Qualitäten eingeteilt:

Wärmeleitfähigkeit (W/m·K)

Materialqualität / Typ

Hauptmerkmale

Typische Anwendungen

≥ 230 W/m·K

AlN mit ultrahohem TC

Extrem hohe Wärmeleitungseffizienz nahe der theoretischen Grenze; hohe mechanische Festigkeit, extrem geringer dielektrischer Verlust und ausgezeichnete thermische Stabilität

Elektronische Verpackungen für die Luft- und Raumfahrt, Radar-Wärmeableitungsteile in Militärqualität, Kernkomponenten moderner Halbleiterfertigungsanlagen, High-End-Laserbasen

200 – 220 W/m·K

Hochleistungs-AlN

Hervorragende Wärmeableitungskapazität und hohe Spannungsfestigkeit; umweltfreundlicher, perfekter Ersatz für herkömmliches giftiges Berylliumoxid (BeO) Keramik

IGBT-Leistungsmodule für New-Energy-Fahrzeuge und Hochgeschwindigkeitsbahnen, Hochfrequenz-Mikrowellen-Kommunikationssubstrate, Verpackung von Hochleistungs-HF-Geräten

170 – 180 W/m·K

Standard-AlN

Vereint gute Wärmeleitfähigkeit und hohe Isolationsspannungsfestigkeit; gut abgestimmter Wärmeausdehnungskoeffizient mit Siliziumwafern; kostengünstigste AlN-Sorte

Hochleistungs-LED-Wärmeableitungssubstrate, gängige Verpackung für optoelektronische Geräte, groß angelegte integrierte Schaltungsbasen, allgemeine Kühlkörper

Maßgeschneidert auf Anfrage

AlN in Strukturqualität für Halbleiter

Ultrahohe Reinheit und hervorragende Beständigkeit gegen Halogenplasma-Korrosion; legt Wert auf Korrosionsbeständigkeit und hohe Reinheit statt auf extreme Wärmeleitfähigkeit

Hohlraumteile von Halbleiter-Ätzgeräten, wie elektrostatische Spannfutter (ESC), Waferheizungen und Gasverteilerplatten

Anwendungen von Aluminiumnitridkeramik

Elektronische Verpackung & Kühlkörpersubstrate

Ideale Substrate für Leistungshalbleiter, ICs, Hochleistungs-LEDs und Laser. Es beschleunigt die Wärmeableitung, um einen stabilen Betrieb zu gewährleisten, weit verbreitet in der Automobilelektronik, Kommunikationsstationen und Luft- und Raumfahrtbereiche.

Halbleitersubstrate

Perfekte epitaktische Basis für GaN, AlGaN und andere Halbleiter mit großer Bandlücke. Es zeichnet sich durch eine gute thermische Anpassung und chemische Stabilität aus, um Defekte zu reduzieren, Geeignet für Hochfrequenz-Leistungsgeräte und optische UV-Komponenten.

Hochtemperaturkorrosionsbeständige Teile

Zu Tiegeln verarbeitet, Ofenauskleidungen und Schutzrohre für die Metallschmelze und Halbleiterproduktion unter rauen Hochtemperatur-Arbeitsbedingungen.

Piezoelektrisch & SAW-Geräte

AlN-Dünnfilme bieten eine hervorragende piezoelektrische Leistung, Anwendbar für MEMS-Sensoren, Aktoren und Oberflächenwellenfilter.

Wärmeleitende Verbundwerkstoffe

Wird als thermischer Füllstoff in Epoxidharz und Kunststoffen verwendet, um die Wärmeleitfähigkeit und mechanische Festigkeit zu erhöhen, weit verbreitet für elektronische Wärmemanagementprodukte.

Wie wird Aluminiumnitrid hergestellt??

FAQ zu Aluminiumnitrid (AlN) Keramik

A: Kommerzielles AlN weist eine Wärmeleitfähigkeit von auf 170-230 W/m·K, 5-7 mal höher als Aluminiumoxid. Der Wert variiert je nach Reinheit und Sinterverfahren. Wir liefern abgestufte Materialien entsprechend Ihren Wärmeableitungsanforderungen.

A: Ja. Es bietet eine vergleichbar hohe Wärmeleitfähigkeit und ist ungiftig und RoHS-konform, dient als bester umweltfreundlicher Ersatz für BeO in Hochleistungselektronikverpackungen.

A: Sein CTE liegt bei etwa 4,5×10⁻⁶/℃, gut abgestimmt auf Silizium und GaAs. Es reduziert wirksam die thermische Belastung und verbessert die Packungszuverlässigkeit von Hochfrequenz-Hochleistungsmodulen.

A: Ja. Wir bieten CNC-Bearbeitung an, Laserbohren, Schreiben, Nuten und Polieren. Bitte bieten Sie CAD- oder 3D-Zeichnungen zur Toleranzbewertung und Angebotserstellung an.

A: Ja. Wir unterstützen DPC, DBC, AMB- und Dickschichtdruckverfahren zur Erfüllung der Schweiß- und Stromleitungsanforderungen.

A: Standarddicke: 0.25mm, 0.38mm, 0.5mm, 0.635mm, 1.0mm. Zu den gängigen Rohlinggrößen gehören 2/3/4 Zoll und 114 x 114 mm, 120×120mm. Individueller Zuschnitt ist möglich.

A: Exzellent. Es handelt sich um einen hervorragenden Isolator mit einer Durchschlagsfestigkeit von mehr als 100 % 15 kV/mm und hoher Volumenwiderstand, Gewährleistung des sicheren Betriebs von elektronischen Hochspannungsgeräten.

A: Es erfordert eine komplexe Pulversynthese und Hochtemperatursinterung unter Stickstoffatmosphäre. Seine hohe Härte führt zudem zu einem starken Verschleiß von Diamantwerkzeugen bei der Bearbeitung, was zu höheren Gesamtkosten führt.

A: Flexible Bestellmenge ist verfügbar. Standardsubstrate unterstützen Musterbestellungen in kleinen Mengen. Die Mindestbestellmenge für kundenspezifisch bearbeitete Teile wird basierend auf den Produktionskosten und der Materialauslastung separat berechnet.