Основные преимущества Пористый керамический вакуумный патрон
Устойчивость к экстремальным температурам
Долгосрочная рабочая температура 1600°C; термический удар ΔT ≥ 500°C.
Прецизионная микропористая адсорбция
Пористость 30–70%, размер пор 1–50 мкм; вакуумная адсорбция ≥ 0.08 МПа для ультратонких пластин.
Коррозия & износостойкость
Устойчив к pH 1–14 & плазменная эрозия; ХВ10 2200–2800; срок службы 3× графитовых патронов.
Сверхвысокая плоскостность
≤ 0.005 мм после прецизионного шлифования.
Ключевые области применения пористого керамического вакуумного патрона
1.Полупроводник & Электроника
- Склеивание пластин / временное соединение: плоскостность ≤0,005 мм при утонении пластины на 12 дюймов.
- Литографический термоменеджмент: колебания температуры ≤±0,1°C.
2.Фотоэлектрический & Новая Энергия
- Печь для спекания солнечных элементов PERC/TOPCon: 1600°С, степень поломки ≤0,01%.
- Эпитаксиальная лоток SiC: металлические примеси ≤1 ppm для MOCVD/MBE.
3.Лазер & Прецизионная обработка
- Мощный патрон для лазерной резки: сопротивляется лазерной абляции ≥1 кВт/см².
- 3D-подложка для печати: пористая вентиляция уменьшает прилипание порошка.
4. Высокотемпературное промышленное оборудование
- Наладчик печи для спекания: сопротивление ползучести, нагрузка ≥50 кг/м² при 1600°C.
- Приспособление для вакуумной пайки: устойчив к припою Ag-Cu-Ti; многоразовый ≥1000 циклов.
Услуги по индивидуальному заказу керамики JiFeng
Пористая структура
униформа / градиент / направляющие каналы для контроля вакуума/газа.
Обработка поверхности
CVD-покрытие SiC, антиокислительное покрытие SiO₂/Al₂O₃.
Размеры
диаметр φ100–φ600 мм, толщина 5–50 мм; прямоугольный / особая форма.
Преимущество в стоимости
40–60% ниже, чем импортные бренды.
Цзифэн Керамика















