Цзифэн Керамика
Основные преимущества Керамические структурные компоненты из черного циркония для полупроводников
Контролируемая проводимость
Легирование углеродной/металлической фазой позволяет регулировать поверхностное сопротивление в диапазоне 10³–10¹⁰Ом., предотвращение электростатической адсорбции частиц.
Сверхвысокая точность
Допуск обработки на станке с ЧПУ ±0,002 мм, шероховатость поверхности Ra≤0,05 мкм, подходит для нанометровых процессов.
Устойчивость к плазменной коррозии
Скорость коррозии <0.1мкм/100 ч в среде плазмы фтора/хлора; срок службы увеличен в 5×+.
Сверхвысокая чистота
Отсутствие выщелачивания ионов металлов; проходит тест на выделение частиц SEMI F47 (≤5 шт./лист @0,3 мкм).
Формирование сложной структуры
Поддерживает литье под давлением / 3Д-печать; тонкостенный (≥0,2 мм), особой формы, и пористые структуры доступны.
Применение Керамические структурные компоненты из черного циркония для полупроводников
Полупроводниковый интерфейс
- Офорт: вкладыши камеры, газовые форсунки, патроны для пластин
- Депонирование (ПВД/ХВД): щитовые кольца, базы, лотки для обогревателей
- Литография: держатели масок, части выравнивателя
Отображать & Упаковка
- OLED-испарение: легкие щиты, захваты для роботов
- Зондовые станции: керамические подложки, тестовые розетки
- Расширенная упаковка: Изоляционные кольца ТСВ, Кронштейны РДЛ
PV & Электроника
- Фотоэлектрическое покрытие: проводящие ролики, направляющие
- Устройства высокой мощности: Подложки IGBT, РЧ микроволновые окна
Почему стоит выбрать наши структурные компоненты из черного циркония?
Инновационные технологии материалов
Расширенный материал: реакционное спекание + БЕДРО, 99.5% плотность, однородная проводящая фаза. DLC-покрытие: коэффициент трения 0.1, износостойкость ×8.
Полный контроль качества процесса
Все изделия проходят проверку на герметичность гелием. (скорость утечки <5×10⁻¹⁰ Па·м³/с) & рентгеновский контроль (≤10 мкм). Предоставляются отчеты об испытаниях SEM/EDS и плазменной коррозии..
Система быстрого реагирования
15-день выполнения стандартных деталей, 30 дней для индивидуальных нестандартных деталей; срочные заказы доступны после технической оценки.
Глобальная техническая поддержка
Мы обеспечиваем оптимизацию моделирования FEA, услуги по анализу отказов и адаптации оборудования, модификации.
