جيفينج سيراميك
لقد خضعت الرقاقة التي تصل إلى روبوت النقل بالفعل إلى العديد من خطوات العملية باهظة الثمن. الذراع الخزفية التي تحملها رخيصة بالمقارنة, ولكن شفرة مترهلة, لا يزال من الممكن أن يؤدي السطح المتساقط أو المادة التي لا تتحمل درجة حرارة الغرفة إلى التخلص من الرقاقة. هناك خمسة اختبارات لاختيار ذراع السيراميك, يُشار إليه أيضًا باسم المؤثر النهائي الخزفي أو ذراع التعامل مع الرقاقة: ظروف العملية, مادة, اتصال رقاقة, الهندسة والنظافة. احصل على هذه الأمور بشكل صحيح والباقي في معظمه عبارة عن أعمال ورقية.
ما الذي تفعله الذراع الخزفية في نظام معالجة الويفر
تُعرف الشفرة أو الشوكة الموجودة في الروبوت الذي يتعامل مع الويفر بالذراع الخزفية. The only thing that touches the wafer as it moves is the device that shuttles wafers between cassettes, transfer chambers and process chambers.
Why Ceramic and Not Metal or Plastic
Metals and polymers are subject to damage from heat, chemicals and frequent contact, and can also introduce contamination. The standard answer is ceramics. Kyocera’s handling arms, على سبيل المثال, are made of alumina or silicon carbide and are marketed as resistant to temperature, المواد الكيميائية, صدمة حرارية, and low friction. Similar arguments are made in Axcelis patent filings on ceramic end effectors which are described as light, relatively low cost and contaminant-free for high-temperature thermal processing, with alumina preferred and silicon carbide an alternative.
Start With Your Process Conditions, Not the Material
Material comes second. الشروط التي سيراها الذراع تحدد المواد المرشحة.
درجة حرارة
إن احتياجات الذراع التي تحرك الرقائق بالقرب من درجة الحرارة المحيطة تختلف عن احتياجات الذراع التي تدخل غرفة المعالجة الحرارية. تقع مقاومة الصدمات الحرارية والتوصيل الحراري على رأس القائمة عندما يتعلق الأمر بالتسخين والتبريد المتكرر.
تنظيف المواد الكيميائية
أولاً, التحقق من المقاومة الكيميائية واستقرار السطح (في حالة تعرض الذراع لكيمياء عملية التآكل أو التنظيف العنيف).
حجم الرقاقة, سرعة, أَجواء
تتطلب الرقائق الأكبر حجمًا أذرعًا أطول ودورات أسرع مما يعني أن كل جرام له أهميته. لاحظ أيضًا ما إذا كان الذراع يعمل في فراغ أو جو حيث يؤثر ذلك على أي خطوط فراغ داخلية.
الألومينا مقابل. كربيد السيليكون: اختيار المادة المناسبة
إجابة قصيرة
إذا كانت التكلفة عاملا, الألومينا هي المادة المفضلة لمعالجة الرقائق. كربيد السيليكون هو المستوى التالي عندما تكون الحرارة والتدوير الحراري هما العاملان السائدان. وفقًا لمقارنة أحد موردي السيراميك, الألومينا لديها الموصلية الحرارية 20-35 W/m·K مقارنة بحوالي 120-200 لكربيد السيليكون. كربيد السيليكون أغلى ثمناً وأكثر صعوبة في التصنيع.
مقارنة المواد
| ملكية | الألومينا | كربيد السيليكون | زركونيا |
| نقاء | ≥99.5% | ≥99.5% | ≥99.9% |
| كثافة | 3.8-3.9 جم/سم3 | 3.1-3.2 جم/سم3 | 6.05 جم/سم3 |
| درجة الحرارة على المدى الطويل (جيفنغ) | 800درجة مئوية | 1600درجة مئوية | 1200درجة مئوية |
| الموصلية الحرارية النموذجية | 20-35 ث / م · ك | 120-200 ث / م · ك | 2-3 ث / م · ك |
| شوهد في تصاميم معالجة الرقاقات المنشورة | نعم | نعم | تأكيد مع المورد |
نقاء, تأتي أرقام الكثافة ودرجة الحرارة من صفحة منتج JiFeng. تعد الموصلية الحرارية نطاقًا نموذجيًا مقارنة بالموردين المدرجة ضمن المصادر.
متى يكون لكل مادة معنى
استخدم الألومينا لنقل درجة الحرارة المحيطة/المعتدلة حيث تكون التكلفة والتوافر أمرًا مهمًا. اختر كربيد السيليكون للخدمة الحرارية الشديدة أو عندما يكون الوزن المنخفض والصلابة العالية أمرًا مهمًا. زركونيا موجود في قائمة JiFeng, ولكنها ليست المادة القياسية للتعامل مع الرقاقات في التصاميم المذكورة أعلاه, لذا قم بتأكيد الطلب مع المورد قبل تحديده.
تفاصيل التصميم التي تحدد الأداء في العالم الحقيقي
اتصال الرقاقة والإمساك بها
يحتوي أحد التصميمات على قناة مفرغة من خلال الجسم الخزفي ومنصات دعم بفتحات مفرغة على الأصابع لحمل الرقاقة دون الإضرار بسطحها. اسأل عن عدد نقاط الاتصال الموجودة. اسأل مما تصنع الفوط, وكيف يتم استبدالهم. أيًا كانت الطريقة المستخدمة.
الهندسة, سمك وصلابة
على امتداد, شفرة رقيقة يمكن أن تتدلى, وهي مشكلة إذا كان على الرقاقة أن تنزلق إلى فتحة ضيقة. أجوف, الهياكل خفيفة الوزن تقطع الكتلة ولكنها تحتاج إلى تصميم دقيق. تسرد صفحة منتج JiFeng تصميمات مجوفة وخفيفة الوزن من بين خياراتها المخصصة.
الانتهاء من السطح والتركيب
اسأل عن خشونة السطح وشطب الحافة للمادة التي اخترتها. يعطي جدول JiFeng قيم Ra مختلفة للألومينا, الزركونيا وكربيد السيليكون لذلك لن يغطي شكل واحد الثلاثة. أخيراً, تحقق من واجهة التركيب ووزن الذراع مع حدود الحمولة والقصور الذاتي للروبوت.
نظافة, ثابت والتحقق
الجسيمات والتحكم الساكن
وضعا الفشل الهادئان هما تساقط الجسيمات الساكنة. الألومينا عادة ما تكون عازلًا كهربائيًا, لذلك لا تتوقع أن ينزف من الكهرباء الساكنة; طلب بيانات المقاومة أو حل التحكم الثابت.
ما الدليل الذي يجب طلبه
اطلب الأدلة, ليست الصفات: تقرير فحص الأبعاد والتسطيح, قياسات الخشونة, شهادة المواد. ايزو 14644-1 يوفر تصنيفًا لنظافة هواء غرف الأبحاث . يوفر SEMI E78 إرشادات للتفريغ الكهروستاتيكي والتحكم في الجذب في معدات أشباه الموصلات . انظر أيضًا JiFeng الجودة والاختبار صفحة.
أذرع سيراميك مخصصة: ما يجب الاستعداد للحصول على الاقتباس
قائمة مراجعة طلب عرض الأسعار (RFQ).
- حجم الرقاقة وسمكها
- الرسم مع التفاوتات ومتطلبات التسطيح
- درجة حرارة العملية, المواد الكيميائية والغلاف الجوي
- طريقة الإمساك: فارغ, منصات الحافة أو الدعم
- المادة المفضلة, إن وجدت
- متطلبات الكمية والتفتيش
كيف يمكن لـ JiFeng المساعدة
جيفنغ ذراع سيراميك يسرد الهياكل المخصصة بما في ذلك المفاصل متعددة المحاور والتصميمات المجوفة خفيفة الوزن, بالإضافة إلى المعالجات السطحية, ويظهر ISO 9001 لأذرعها من الألومينا وكربيد السيليكون. اطلب الشهادة ومراجعة الرسم مع عرض الأسعار الخاص بك.
طريقة بسيطة لاتخاذ القرار
العمل بهذا الترتيب: شروط, مادة, طريقة الاتصال, هندسة, ثم التحقق.
الألومينا أو كربيد السيليكون? الألومينا للتكلفة المتوازنة والنقل العام; كربيد السيليكون للخدمة الحرارية الثقيلة.
هل يمكن تخصيص ذراع السيراميك? نعم. إرسال الرسومات وتفاصيل العملية.
ماذا يجب أن أرسل للحصول على الاقتباس? حجم الرقاقة, التسامح, ظروف التشغيل, طريقة الإمساك والكمية.
لمناقشة ذراع سيراميك مخصص لمعدات أشباه الموصلات الخاصة بك, طلب عرض أسعار.
