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Composants structurels en céramique de zircone noire - Céramique JiFeng

Composants structurels en céramique/

Composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteur

Les composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteurs sont des pièces en céramique fonctionnelles hautes performances à base de nano-zircone. (ZrO₂), réalisé via une modification du dopage, usinage de précision, et traitement de surface.

Conçu spécifiquement pour la fabrication de semi-conducteurs, panneaux d'affichage, et équipements photovoltaïques, ils présentent une dureté élevée (≥1200HV), performances antistatiques (résistance superficielle 10⁴–10⁶Ω), résistance à la corrosion par plasma, et dégazage ultra faible. Ils remplacent les céramiques d'alumine et les métaux traditionnels pour répondre aux exigences strictes de propreté., précision, et fiabilité des équipements semi-conducteurs.

  • Détails du produit
  • Spécifications techniques

Principaux avantages de Composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteur

Conductivité contrôlable

Le dopage en phase carbone/métal permet une résistance de surface réglable de 10³ à 10¹⁰Ω, empêchant l'adsorption de particules électrostatiques.

Ultra-haute précision

Tolérance d'usinage CNC ±0,002 mm, rugosité de surface Ra≤0,05μm, adapté aux processus nanométriques.

Résistance à la corrosion plasmatique

Taux de corrosion <0.1μm/100h dans un environnement plasma fluor/chlore; durée de vie augmentée de 5×+.

Ultra-haute propreté

Pas de lessivage des ions métalliques; réussit le test d'élimination des particules SEMI F47 (≤5 pièces/feuille à 0,3 μm).

Formation de structures complexes

Prend en charge le moulage par injection / 3Impression D; paroi mince (≥0,2 mm), forme spéciale, et structures poreuses disponibles.

Applications de Composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteur

Frontend semi-conducteur

  • Gravure: revêtements de chambre, buses à gaz, mandrins à plaquettes
  • Déposition (PVD/CVD): anneaux de bouclier, socles, plateaux chauffants
  • Lithographie: porte-masques, pièces d'alignement

Afficher & Conditionnement

  • Évaporation OLED: boucliers légers, pinces pour robots
  • Stations de sonde: substrats en céramique, prises de test
  • Emballage avancé: Anneaux d'isolation TSV, Supports RDL

PV & Électronique

  • Revêtement photovoltaïque: rouleaux conducteurs, rails de guidage
  • Appareils haute puissance: Substrats IGBT, Fenêtres à micro-ondes RF

Pourquoi choisir nos composants structurels en zircone noire?

Technologie des matériaux innovants

Matériel avancé: frittage par réaction + HANCHE, 99.5% densité, phase conductrice uniforme. Revêtement DLC: coefficient de frottement 0.1, résistance à l'usure ×8.

Contrôle qualité complet du processus

Tous les articles sont soumis à des tests d'étanchéité à l'hélium (taux de fuite <5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s) & Inspection aux rayons X (≤10μm). Des rapports de tests de corrosion SEM/EDS et plasma sont fournis.

Système de réponse rapide

15-délai de livraison d'un jour pour les pièces standards, 30 jours pour les pièces non standard personnalisées; commandes urgentes disponibles sur évaluation technique.

Assistance technique mondiale

Nous fournissons l'optimisation de la simulation FEA, services d'analyse de défaillance et de modification d'adaptation d'équipement.

ParamètreDétails
MatérielZircone stabilisée à l'yttria (3Y/5Y-ZrO₂), zircone conductrice noire (dopé carbone/métal)
Densité6.0–6,2 g/cm³
Dureté1200–1400 HT
Résistance à la flexion≥1000 MPa (3-cintrage ponctuel)
Coefficient de dilatation thermique10.5×10⁻⁶/°C (20–400°C, correspond à l'acier inoxydable)
Résistance superficielle10³–10¹⁰ Ω (personnalisable)
Gamme de taillesMaximum 300×300×150mm, épaisseur 0,2 à 50 mm
CertificationsSEMI-S2/S8, OIN 14644-1 Classe 1, RoHS, UL 94 V-0

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