Principaux avantages de Composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteur
Conductivité contrôlable
Le dopage en phase carbone/métal permet une résistance de surface réglable de 10³ à 10¹⁰Ω, empêchant l'adsorption de particules électrostatiques.
Ultra-haute précision
Tolérance d'usinage CNC ±0,002 mm, rugosité de surface Ra≤0,05μm, adapté aux processus nanométriques.
Résistance à la corrosion plasmatique
Taux de corrosion <0.1μm/100h dans un environnement plasma fluor/chlore; durée de vie augmentée de 5×+.
Ultra-haute propreté
Pas de lessivage des ions métalliques; réussit le test d'élimination des particules SEMI F47 (≤5 pièces/feuille à 0,3 μm).
Formation de structures complexes
Prend en charge le moulage par injection / 3Impression D; paroi mince (≥0,2 mm), forme spéciale, et structures poreuses disponibles.
Applications de Composants structurels en céramique de zircone noire pour semi-conducteur
Frontend semi-conducteur
- Gravure: revêtements de chambre, buses à gaz, mandrins à plaquettes
- Déposition (PVD/CVD): anneaux de bouclier, socles, plateaux chauffants
- Lithographie: porte-masques, pièces d'alignement
Afficher & Conditionnement
- Évaporation OLED: boucliers légers, pinces pour robots
- Stations de sonde: substrats en céramique, prises de test
- Emballage avancé: Anneaux d'isolation TSV, Supports RDL
PV & Électronique
- Revêtement photovoltaïque: rouleaux conducteurs, rails de guidage
- Appareils haute puissance: Substrats IGBT, Fenêtres à micro-ondes RF
Pourquoi choisir nos composants structurels en zircone noire?
Technologie des matériaux innovants
Matériel avancé: frittage par réaction + HANCHE, 99.5% densité, phase conductrice uniforme. Revêtement DLC: coefficient de frottement 0.1, résistance à l'usure ×8.
Contrôle qualité complet du processus
Tous les articles sont soumis à des tests d'étanchéité à l'hélium (taux de fuite <5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s) & Inspection aux rayons X (≤10μm). Des rapports de tests de corrosion SEM/EDS et plasma sont fournis.
Système de réponse rapide
15-délai de livraison d'un jour pour les pièces standards, 30 jours pour les pièces non standard personnalisées; commandes urgentes disponibles sur évaluation technique.
Assistance technique mondiale
Nous fournissons l'optimisation de la simulation FEA, services d'analyse de défaillance et de modification d'adaptation d'équipement.
Céramique JiFeng
















