Schwarze Zirkonoxidkeramik-Strukturkomponenten für Halbleiter

Strukturkomponenten aus schwarzer Zirkonoxidkeramik für Halbleiter sind leistungsstarke Funktionskeramikteile auf Basis von Nanozirkonoxid (ZrO₂), durch Dopingmodifikation hergestellt, Präzisionsbearbeitung, und Oberflächenbehandlung.

Speziell für die Halbleiterfertigung entwickelt, Anzeigetafeln, und Photovoltaikanlagen, Sie zeichnen sich durch eine hohe Härte aus (≥1200HV), antistatische Leistung (Oberflächenwiderstand 10⁴–10⁶Ω), Plasmakorrosionsbeständigkeit, und extrem geringe Ausgasung. Sie ersetzen herkömmliche Aluminiumoxidkeramiken und -metalle, um die strengen Anforderungen an die Sauberkeit zu erfüllen, Präzision, und Zuverlässigkeit in Halbleitergeräten.