Siliziumkarbidspiegel | Hochpräzise optische Keramik

Kernvorteile des Siliziumkarbidspiegels

CTE < 2×10⁻⁶/°C (20–400°C); Nur thermische Verformung 1/50 aus Glasspiegeln.

200 W/m·K, eliminiert den thermischen Linseneffekt für Laser der kW-Klasse.

Ra ≤ 0.5 nm nach dem Polieren; Reflexionsvermögen > 99.5% @ 1064 nm (beschichtet).

Dichte 3.1 g/cm³; Biegefestigkeit ≥ 400 MPa; spezifische Steifigkeit (E/r) 4× das von Quarzglas.

Strahlung & Säure-/Laugenbeständig; Betriebstemp: -200°C bis 1650°C.

1. Hochenergie-Lasersysteme

Laserschneiden von Fokussierspiegeln, Hohlraumspiegel für Faserlaser, ultraschnelle Laser-Chirp-Spiegel.
Gerichtete Energiewaffenspiegel, Lenkspiegel für Laserfusionsstrahlen.

2. Luft- und Raumfahrt & Astronomie

Primär-/Sekundärspiegel eines Weltraumteleskops, Multispektrale Satellitenbildgeber, Infrarotlinsen für den Weltraum.
Spiegel von Bodenobservatorien, Satelliten-Laserkommunikationsspiegel.

3. Halbleiter & Präzisionsfertigung

EUV-Lithographie-Spiegelsubstrate, Interferometerspiegel für die Waferinspektion.
Infrarotkamerafenster, Hochpräzise Referenzspiegel für die Messtechnik

4. Forschung & Besondere Umgebungen

Synchrotron-Beamline-Spiegel, Neutronenoptik für Kernreaktoren, Hochtemperatur-Industrieüberwachungsspiegel.

CVD-SiC für Ultrapräzision auf EUV-Niveau; RB-SiC für kostengünstige großflächige Leichtbaustrukturen.

Zygo-Interferometer-Oberflächenprüfung, Weißlicht-Profiler-Rauheitsanalyse, Prüfung der Laserzerstörschwelle (ISO 21254).

Asphärisch, Freiform, Mikrostrukturierte Spiegel; Integration der Blank-Polier-Beschichtung-Baugruppe.

Optisches Design, thermische Simulation, Leistungsüberwachung im Orbit.

Parameter	Details
Materialtyp	Reaktionsgebundenes SiC (RB-SiC), Chemische Gasphasenabscheidung von SiC (CVD-SiC)
Spiegeldurchmesser	10–1500 mm (Standard); über 2 m verfügbar für kundenspezifische
Oberflächengenauigkeit	l/20 @ 632.8 nm (RMS); λ/10 PV (Hochenergie-Laserqualität)
Oberflächenrauheit	Ra ≤ 0.5 nm (nach dem Polieren & Beschichtung)
CTE (20–400°C)	1.5–4,2×10⁻⁶/°C (hängt vom Prozess ab)
Beschichtungsoptionen	Au, Ag, dielektrische HR (1064 nm / 10.6 μm), Laserbeständige Beschichtung (>10 kW/cm²)
Zertifizierungen	ISO 10110, MIL-PRF-13830, NASA geringe Ausgasung (ASTM E595)