について サイトマップ |

炭化ケイ素ミラー | 高精度光学セラミック

セラミック構造部品/

炭化ケイ素 (SiC) 鏡

炭化ケイ素ミラー

炭化ケイ素ミラーは、反応結合プロセスによって製造される非常に効率的な光学基板です。 (RB-SiC) 化学蒸着とも呼ばれます (CVD-SiC).

主な特徴は次のとおりです。:

  • ゼロに近い熱膨張 (1.5x10-6/℃)
  • 非常に高い熱伝導率 (200 W/m*K)
  • サブナノメートルの表面粗さ (ラ = 0.5 ミリメートル)

宇宙望遠鏡などの最も要求の厳しいアプリケーション向けに構築, 高出力レーザー 半導体リソグラフィー, 光学用赤外線システム, 最も極端な温度や放射線、機械的負荷の下でも優れた安定性を提供します。. ガラスや金属ミラー、ガラスミラーの最先端の代替品, 当社の炭化ケイ素丸ミラーは、最も厳しい条件下でも信頼性を提供します。.

  • 製品詳細
  • 技術仕様

炭化ケイ素ミラーの主な利点

極めて高い熱安定性

CTE < 2×10⁻⁶/℃ (20–400℃); 熱変形のみ 1/50 ガラス鏡の.

超高熱伝導率

200 W/m・K, kWクラスのレーザーの熱レンズ効果を排除.

超精密光学面

Ra ≤ 0.5 研磨後nm; 反射率 > 99.5% @ 1064 nm (コーティングされた).

軽量 & 高剛性

密度 3.1 g/cm3; 曲げ強度≧ 400 MPa; 比剛性 (E/R) 4× 溶融シリカのそれ.

完全な耐環境性

放射線 & 耐酸性/耐アルカリ性; 動作温度: -200℃~1650℃.

炭化ケイ素ミラーの用途

1. 高エネルギーレーザーシステム

  • レーザーカット集光ミラー, ファイバーレーザーキャビティミラー, 超高速レーザーチャープミラー.
  • 指向性エネルギー兵器のミラー, レーザー融合ビームステアリングミラー.

2. 航空宇宙 & 天文学

  • 宇宙望遠鏡の主鏡・副鏡, 衛星マルチスペクトル画像装置, 深宇宙赤外線レンズ.
  • 地上展望鏡, 衛星レーザー通信ミラー.

3. 半導体 & 精密製造

  • EUVリソグラフィーミラー基板, ウェーハ検査用干渉計ミラー.
  • 赤外線カメラ窓, highprecision metrology reference mirrors

4. 研究 & 特殊な環境

  • シンクロトロンビームラインミラー, 原子炉中性子光学系, 高温工業用監視ミラー.

当社を選ぶ理由 炭化ケイ素ミラー?

主要な材料 & プロセス

EUVレベルの超精密用CVD-SiC; 低コストの大規模軽量構造用RB-SiC.

全工程の品質管理

Zygo 干渉計の表面テスト, 白色光プロファイラー粗さ分析, レーザー損傷閾値テスト (ISO 21254).

ワンストップのカスタマイズ

非球面, フリーフォーム, 微細構造ミラー; ブランク、ポリッシュ、コート、アセンブリの統合.

グローバルな技術サポート

光学設計, 熱シミュレーション, 軌道上パフォーマンスモニタリング.

パラメータ詳細
材質の種類反応結合SiC (RB-SiC), 化学蒸着SiC (CVD-SiC)
ミラー直径10–1500mm (標準); 以上 2 カスタムに利用可能
面精度l/20@ 632.8 nm (RMS); λ/10 PV (高エネルギーレーザーグレード)
表面粗さRa ≤ 0.5 nm (研磨後 & コーティング)
CTE (20–400℃)1.5–4.2×10⁻⁶/℃ (プロセスに依存する)
コーティングオプションアウ, 銀, 誘電体HR (1064 nm / 10.6 μm), レーザー耐性コーティング (>10 kW/cm2)
認証ISO 10110, MIL-PRF-13830, NASAの低ガス放出 (ASTM E595)

前へ:

次: